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二手sentech SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统

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产品名称: 二手sentech SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统
产品型号: SI500
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

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二手sentech SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统  的详细介绍

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联系人:张先生
联系电话:18616372351
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备注:长期现金高价回收:二手手机通讯测试仪器,示波器,频谱分析仪,网络分析仪,综合测试仪,信号源,示波器,电源,万用表,功率计,电源,电子负载,天馈线分析仪,功率计/头,LCR表,GPIB卡等等。如果你手中还有闲置的二手仪器,防止存放贬值,挤压资金,你也可以联系我,我们愿意以市场*高价回收利用,您的满意就是我们*终的追求。
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500
SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备,特别针对III-V半导体和微光学应用

主要特点:
• 高速率刻蚀
• 低损伤
• 高深宽比
• 高一致性
• 平板三螺旋天线式PTSA等离子源(P)lanar (T)riple (S)piral (A)ntenna
• 远程控制
• 应用领域:III-V半导体化合物,微光学,微系统
• SENTECH上等等离子设备操作软件
• 穿墙式安装方式
• 干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统

系统配置:
• PTSA ICP等离子源 (13.56 MHz, 1200 W),集成自动匹配网络。
• RF偏置(13.56 MHz, 600 W)
• 循环进气,集成到PTSA源内
• 高速率真空泵系统,独立气流压强控制
• 预真空锁loadlock, 带有取放机械手
• 绝缘、冷却和加热电极(-30ºC up to 250ºC),6" 基底或6" 托架(支持2", 3", 4" 晶圆,小片样品)
• He背部冷却,机械钳
• 动态温度控制
• 远程控制
• PC (Windows XP)
• SENTECH上等等离子设备操作软件

特性:
• 全自动/手动过程控制
• Recipe控制刻蚀过程
• 智能过程控制,包括跳转、循环]调用recipe。
• 多用户权限设置
• 数据资料记录
• LAN网络接口
• Windows NT 操作软件

选项:
• 增加气路
• Quartz window for PTSA source
• 在线监测窗口,穿过PTSA源
• 循环冷却器,用于下电极温度控制(-30ºC to 80ºC)
• 高密度等离子体磁性衬板
• 对等离子源和磁性衬板的外部升高装置
• 隔离环
• Cassette到cassette操作方式
• 穿墙式安装方式
• 干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统

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